
Molybdän -Sputter -Zielmerkmale
Molybdän -Sputter -Zielform: Flugzeugziel -Dreh -Zielprofilanpassung
Molybdän Spottering Target Reinity: 3N5
Molybdän -Sputter -Zielgröße: Gemäß der Zeichnungsverarbeitung oder anderer angepasst
Wir können auch Molybdändraht, Molybdänblech, Molybdänstab, Molybdän -Partikel, Molybdänblock, Molybddenpulver usw. liefern
Molybdän Sputtering Zielvorbereitungstechnologie
1. Die Reinheit von Molybddenpulver ist größer oder gleich 99,95%. Das Molybdlenpulver wird durch Heißdrücken von Sinterprozess verdichtet. Das Molybdlenpulver wird in eine Form gelegt, und dann wird die Form in einen heißdruckenden Sinterofen gelegt. Der Ofen wird evakuiert. Die Temperatur des heißdruckenden Sinterofens wird mit einem Druck von mehr als 20 MPa auf 1200 - 1500 Grad eingestellt und bei dieser Temperatur und des Drucks für 2 - 5 Stunden gehalten, um das erste Molybdän-Ziel-Blank zu bilden.
2. Die erste Molybdän -Ziel -Blanke wird einer heißen Rolling -Behandlung unterzogen. Es ist auf 1200 - 1500 -Angrad erhitzt und dann zu dem zweiten Molybdän -Ziel -Leerzeichen gerollt.
3. Nach dem heißen Rollen wird das zweite Molybdän -Ziel -Blank geglüht. Der Annealing -Prozess beinhaltet die Einstellung der Temperatur an 800 - 1200 Grad und das Halten des zweiten Molybdänziels bei dieser Temperatur für 2 - 5 Stunden, um das Molybdän -Ziel zu bilden.
Leistungsparameter
Reinheit: Die Reinheit von Molybdän -Zielmaterialien ist ein Schlüsselindikator für ihre Leistung. Im Allgemeinen kann die Reinheit von Molybdän-Molybdänmaterialien von hoher Purität 99,95% oder sogar höher erreichen. Hohe Reinheit sorgt für die Minimierung von Verunreinigungen während des Filmabscheidungsprozesses und verbessert damit die Qualität des Endprodukts.
Dichte: Eine Dichte nahe der theoretischen Dichte von Molybdän (10,22 g/cm³) ist ein Vorzeichen für hochwertige Molybdän-Zielmaterialien. Eine höhere Dichte zeigt weniger Hohlräume im Material und eine kompakte Struktur an, was für die Erweiterung der Lebensdauer und Stabilität des Zielmaterials von entscheidender Bedeutung ist.
Wärmeleitfähigkeit: Die thermische Leitfähigkeit von Molybdän beträgt ungefähr 138 W/m · k. Eine hohe thermische Leitfähigkeit ist wichtig für die Temperaturkontrolle des Zielmaterials bei Hochgeschwindigkeitsabscheidungsprozessen, wodurch Überhitzung und strukturelle Schäden vorbeugen.
Wärmeausdehnungskoeffizient: Der Wärmeleitungskoeffizient von Molybdän ist relativ niedrig, etwa 4,8 × 10^-6 / Grad. Dieses Merkmal bedeutet, dass Molybdän -Zielmaterialien unter Temperaturänderungen eine gute dimensionale Stabilität aufweisen, was dazu beiträgt, die Konsistenz und Genauigkeit im Filmabscheidungsprozess aufrechtzuerhalten.
Härte und Stärke: Die Vickers -Härte von Molybdän beträgt ungefähr 2500 HV und hat eine hohe mechanische Festigkeit. Dies ermöglicht es Molybdän-Zielmaterialien, mechanischen Stoßdämmen bei Hochgeschwindigkeitsabscheidungsprozessen standzuhalten.
Oberflächenflat und Rauheit: Oberflächenflat und Rauheit sind auch wichtige Parameter für die Bewertung der Qualität von Molybdän -Zielmaterialien. Eine gute Oberflächenbehandlung kann die Partikelerzeugung während der Verwendung des Zielmaterials verringern und die Gleichmäßigkeit und Qualität des abgelagerten Films verbessern.
Unser Vorteil
Verpflichtet, ein Pionier in der Verarbeitung und Anpassung wissenschaftlicher Forschungsmaterialien zu werden
Komplette Kategorie
Zusätzlich zu Molybdänzielen können wir auch Molybdän -Titanlegierung, Molybdän -Rheniumlegierung, Molybdän Niobiumlegierung, Molybdän -Kupfer -Legierung, Molybdän -Lanthanum -Legierung, Molybddenum -Tantalum -Legierung liefern
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